走査形電子顕微鏡（scanning electron microscope（SEM））

　普通の光学夜飯鏡は，光と光学レンズを用いているのに対し，電子顛微鏡では，電子と電磁

レンズを使うのが特長である。

　走査形電子覇微鏡では，電磁レンズを用いて細く絞った電子線を試料上で走査させ，試料表

面の形状，化学的・物理的性質に応じて発生した二次電子を検出し，ブラウン管上に結像させる。

　光学顛微鏡では，0.2μm程度の分解能が限界であるが，電子線は光よりはるかに短い波長

を持つことから，1.5nm程度迄の分解能が可能である（透過形電子顛微境では0.14nm程度）。

　焦点深度が著しく大きく，凹凸の激しい試料でもはぼ全面に焦点があい，立体感ある像が観

察出来る。